虽然芯片工厂问题不大,有帝都提供,王逸可以省下几十亿。</p>
但里面的生产线,光刻机等设备,都要王逸自己解决。</p>
这些才是最贵的,保守估计后续投入也得一百五十亿起步。</p>
像是光刻机,2010年阿斯麦就推出了EUV光刻机TWINSCANNXE:3100。</p>
前世,2013年阿斯麦又推出EUV光刻机NXE:3300。</p>
不过这些先进的EUV光刻机,王逸就不考虑了,不现实,不可能对内地企业出售的。</p>
前世中芯国际订购了一台EUV光刻机,花了1.2亿美金,钱都付了,最后因为帝国阻挠,阿斯麦也迟迟没有发货。</p>
相反,内地企业能买到的,也就是落后很多代的DUV光刻机。</p>
比如2016年出的NXT1980Di,是前世内地企业买到的最先进光刻机之一,也是中芯国际主力机型。</p>
拿着NXT1980Di当EUV3300用,真是太强人所难。</p>
如今佳能已经放弃高端,停留在55nm,再往上完全干不动。</p>
像是三星台积电的未来几年的28nm、22nm、20nm、16nm、14nm、10nm,很多都是用的NXT:1950i!</p>
若是趁机出手,多订一批,那后续就高枕无忧了。</p>
同样,王逸的12英寸晶圆厂,若是买到NXT:1950i和1960Bi,也能从明年的28nm,一直用到22nm、20nm、16nm、14nm、10nm,甚至7nm。</p>
中芯国际,华力等企业,都是用NXT1980Di二重曝光,量产28-19nm的芯片。</p>
王逸记得,前世EUV光刻机要1.2亿美金,1980Di要7200万美金。</p>
更先进的DUV光刻机NXT:2000i,都买不到,更别说NXT:2050i。</p>
毕竟三星、台积电2016年量产10nm芯片的时候,NXT:1980Di光刻机才开始量产!</p>
7nm之前的制程,三星台积电用的都是1950i、1960Bi、1970Ci等老型号。</p>
但中芯国际买不到EUV光刻机,只能硬着头皮用NXT1980Di进行三重曝光,四重曝光,甚至五重曝光。</p>
当然,2011年NXT1980Di还没有发布。</p>
而当下的1950i估计会便宜一些。</p>
比如尼康的NSR-S620D和阿斯麦的1950i,性能差不了多少,多重曝光后也可以做10-28nm,甚至7nm。</p>
使得中芯国际的28nm工艺大规模量产,能满足大多数芯片需求。</p>
阿斯麦不但在DUV光刻机领域独领风骚,而且开始发力EUV光刻机,进军7nm以下的制程。</p>
不过老款的1950i运作一下,还是有希望的。</p>
当然,不能只压阿斯麦,小日子那边也得看看。</p>
可7nm制程,就要用NXT1980Di四重曝光,技术方面梁老都能解决,但良品率和成本就不好说了。</p>
20台就是70亿!</p>
为什么一次性进这么多?还不是怕做大了被锤!</p>
果然,一台1950i光刻机要4000万欧元,5470万美元,也就是3.5亿人民币。</p>
14nm需要三重曝光,凭借梁老的技术,良品率和成本也能保证。</p>
哪怕溢价买,都不成问题!</p>
幸好梁老能力突出,在多重曝光领域造诣颇深,硬是推出N+1、N+2工艺,用NXT1980Di这种落后的光刻机,实现了14nm、10nm,甚至7nm。</p>
最初,台积电用NXT:1980Di来制造7nm芯片,效果很不理想,良品率低,成本高,最后还是换上EUV光刻机,才实现了完美的7nm。</p>
同样,要用NXT:1980Di来制造14nm、7nm的芯片,那就得靠多重曝光技术,对厂家的技术要求非常高,量产芯片的成本也很高。</p>
巧妇难为无米之炊。</p>
当然趁着当下风头不紧,抓紧多进一些!</p>
这样后续产能扩大,都够用,一直用到2018年1980di都不再禁售。</p>
进上十台,就是35亿。</p>
而尼康还在苦苦坚持,高端领域没希望,可是中低端领域还是没问题的。</p>
后续的NXT:1960Bi、1970Ci、1980Di,不过是在NXT:1950i进行了部分升级,提高了良品率和精度,本质上相差不大。</p>
为此,王逸拿出手机,开始查数据。</p>
梁老的两重曝光技术,不但把中芯国际的28nm良品率从50%提到了90%以上,成本也不会增加太多。</p>
原本光刻机三巨头阿斯麦,尼康,佳能。</p>
不过,在国产光刻机突破之前,这也是迫不得已的办法。</p>
只要不量产7nm,都没压力。</p>
其实1950i/1960Bi/1970ci/1980Di,这四款光刻机都是同样的光源系统,单次曝光都在38nm以上,多重曝光都能生产28nm、16nm、14nm、12nm,甚至7nm。</p>
而且价格更便宜,只要3000万美元。</p>
当下欧美对国内的封锁限制,还不是那么严密。</p>
NXT1980Di原本用于制造300nm-38nm制程,二重曝光后可以达到19nm制程。</p>
王逸当下能买到的光刻机型号,是2009年推出的NXT:1950i,和今年刚推出的NXT:1960Bi。</p>
但今年刚出的1960Bi不太现实,估计阿斯麦不卖。</p>
英特尔当下的订单,都是以尼康NSR-S620D为主,少量阿斯麦1950i。</p>
同样,王逸也可以两边押注。</p>
若是阿斯麦出货不多,进展不顺利,尼康这边也完全能用。</p>
直到7nm以下,尼康才彻底掉队的。</p>
28-10nm,尼康还是可以一战的。</p>
王逸有了计较,等芯片工厂这事稳了,得找时间去一趟尼康和阿斯麦,谈一下光刻机订单。</p>
这种订单不是下单了就有货的,相反,都是提前一年订。</p>
王逸现在订货,明年到货就不错了。</p>
届时,正好芯片工厂也差不多建好了,直接设备入驻,然后安装调试,顺利的话,后年就能量产芯片了。</p>
当然,就怕不顺利!</p>
毕竟当下要买阿斯麦的光刻机,阿斯麦都会提前派一支考察团队,前来考察。</p>
再综合评定半导体企业的规模,产能,资金状况之后,才会出货。</p>
一般的小企业,新企业,阿斯麦根本懒得理会。</p>
毕竟当下的光刻机行业,是绝对的卖方市场,根本供不应求。</p>
不过这种考察团队,那就好操作了。</p>
像是前世的汉城弘芯,哪怕刚成立,哪怕千亿骗局,可依旧在2018年就拿到了1980Di光刻机。</p>
至于原因,就是因为有有蒋老坐镇。</p>
蒋老在台积电干了那么多年,接收了上百台阿斯麦光刻机,所有阿斯麦高层都认识他。</p>
就冲着蒋老的面子,所谓的考察都会顺利通过,光刻机都得交付。</p>
虽然这台光刻机马上就被弘芯抵押给了银行,获得5.8亿元贷款,蒋老也被坑得差点身败名裂……</p>
只能说弘芯的资本局,太特么高端了。</p>
同样,星逸半导体这边,若是能直接订购光刻机,那自然最好。</p>
但若是订购不了,也得找个大佬坐镇,那就没压力了。</p>
王逸最看重的还是梁老。</p>
但可惜,梁老目前刚入职三星半导体,又被台积电告了。</p>
这场官司一直持续到2015年才有结果,前世2017年梁老才进入中芯国际。</p>
王逸想把梁老挖来,也很麻烦。</p>
先不说三星愿不愿意放人,台积电那边怎么摆平,都是个大问题!</p>
除非星逸半导体、台积电、梁老三方达成合作,梁老离开三星半导体加入星逸半导体,台积电撤诉,王逸给台积电大单,让出部分利益。</p>
这样台积电得到好处,也封杀了死对头三星半导体的崛起。</p>
星逸半导体引入梁老,也能引来大发展。</p>
至于星逸半导体对台积电的威胁?这不是问题。</p>
比起三星这种庞然大物,星逸半导体不值一提,台积电根本不看在眼里。</p>
何况欧美限制了EUV光刻机,台积电不觉得星逸半导体能做大。</p>
最多低端芯片自己生产,高端芯片的订单,还是得台积电代工,多了一个大客户,也算是合作的基础。</p>
当然,这前提是星逸手机做大,星逸芯片研发成功,达到数千万级,才有资格去运作这个事情,才有资格和台积电合作。</p>
而且未必容易,所以王逸还得准备planB!</p>
最起码在梁老自由之前,王逸得找半导体大牛,带着星逸半导体解决28nm和14nm工艺。</p>
这真不容易。</p>
普通人才好挖,没多少约束。</p>
当下中芯国际内斗不断,很多人才都头大地想离开,王逸伸出橄榄枝,待遇丰厚,他们自然愿意加入。</p>
还有台积电、三星那边,也能挖!</p>
可领头人物,就难了!</p>