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MEMS的概念很大，传感器只是它的一种用途而已。</p>

从狭义的角度来看，用半导体工艺加工出来的，能够产生内部运动部件的，就是MEMS。</p>

典型应用包括喷墨打印机的喷头！</p>

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MEMS传感器，还可以广义去扩散。只要加工工艺对，哪怕没有相对运动部件，也可以归为此类。例如数码摄像机的摄像头！</p>

从某种意义上来讲，只要尺度是毫米级别的传感器，肯定都是MEMS的天下了。其它任何一种工艺，都无法加工出这么细小级别的产品。</p>